Scheiben und Wafer
Die Abscheidung aus der Gasphase (CVD) ermöglicht die Herstellung von Diamant in Form ausgedehnter Scheiben oder Wafer.
Folien und Membranen
Freistehende polierte Diamantmembranen bzw. Diamantfolien können extrem dünn (von einigen 10 nm bis in den µm Bereich) gefertigt werden.